Thin Film Processes John L. Vossen (RCA Laboratories, Princeton, New Jersey)

Name: Thin Film Processes von John L. Vossen (RCA Laboratories, Princeton, New Jersey)
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Thin Film Processes John L. Vossen (RCA Laboratories, Princeton, New Jersey)

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Thin Film Processes Zusammenfassung

Thin Film Processes John L. Vossen (RCA Laboratories, Princeton, New Jersey)

Remarkable advances have been made in recent years in the science and technology of thin film processes for deposition and etching. It is the purpose of this book to bring together tutorial reviews of selected filmdeposition and etching processes from a process viewpoint. Emphasis is placed on the practical use of the processes to provide working guidelines for their implementation, a guide to the literature, and an overview of each process.

Inhaltsverzeichnis

Introduction. J.L. Vossen, Physical Methods of Film Deposition. J.L. Vossen and J.J. Cuomo, Glow Discharge Sputter Deposition. J.A. Thornton and A.S. Penfold, Cylindrical Magnetron Sputtering. D.B. Fraser, The Sputter and S-Gun Magnetrons. R.K. Waits, Planar Magnetron Sputtering. J.M.E. Harper, Ion Beam Deposition. Chemical Methods of Film Deposition. F.A. Lowenheim, Deposition of Inorganic Films from Solution. W. Kern and V.S. Ban, Chemical Vapor Deposition of Inorganic Thin Films. Physical-Chemical Methods of Film Deposition J.R. Hollahan and R.S. Rosler, Plasma Deposition of Inorganic Thin Films. H. Yasuda, Glow Discharge Polymerization. Etching Processes. W. Kern and C.A. Deckert, Chemical Etching. C.M. Melliar-Smith and C.J. Mogab, Plasma-Assisted Etching Techniques for Pattern Delineation. References. Index.

Zusätzliche Informationen

Sku

GOR008774706

ISBN 13

9780127282503

ISBN 10

0127282505

Titel

Thin Film Processes John L. Vossen (RCA Laboratories, Princeton, New Jersey)

Autor

John L. Vossen (RCA Laboratories, Princeton, New Jersey)

Zustand

Gebraucht - Sehr Gut

Bindung

Gebundene Ausgabe

Verlag

Elsevier Science Publishing Co Inc

Datum

1979-01-31

Anzahl der Seiten

564

Preise

N/A

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